產(chǎn)品介紹：

名    稱：高精密勻膠機

型    號：EZ4

原產(chǎn)地：美國，USA

應    用：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關。

產(chǎn)品概述：

EZ4高精密勻膠機被設計為涂膠處理小碎片至4英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級直流馬達和單片機控制，文本顯示器人機界面。
　　EZ4高精密勻膠機被設計為結(jié)構緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。

EZ4高精密勻膠機性能參數(shù)：

l   支持wafer尺寸：碎片（小于1cm）至100mm（4"圓晶）

l   速度可調(diào)范圍：100-10000rpm

l   加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s

l   轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

l   轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm

l   可編程5組5步程序

l   寬電壓輸入：AC100-230V

產(chǎn)品特點：

l   75W 直流無刷電機，單片機控制

l   高清晰文本顯示器

l   可單步和多步勻膠操作

l   PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換

l   鋁合金陽極氧化外殼，美觀大方

l   耐溶劑PC透明蓋

l   多角度定位鉸鏈設計

l   HDPE真空吸盤

產(chǎn)品外型尺寸：
　   250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)